科研利器｜MSA-100-3D显微式激光测振仪：微结构振动测量精准破局！

天玑算

想测MEMS器件的微振动，又怕接触式测量破坏精密结构？

想捕捉压电片的三维振动模态，却被传统方法的低精度卡壳？

想分析高频微结构振动，现有设备带宽不够抓不住关键信号？

别急，MSA-100-3D显微式激光测振仪这台“微振动精准捕手”，早就解决了这些“想测又怕损、想精又不能”的难题。

无论是MEMS器件研发、精密机械测试，还是压电材料分析，这款仪器都能凭借超高精度与强兼容性，解决传统测量难题，为科研攻关助力！

使用场景

MSA-100-3D显微式激光测振仪的应用范围，早已覆盖多个核心科研与工业领域，靠的就是实打实的“硬实力”：

MEMS与微电子领域：精准测量压电片、三维惯导、压力传感器等电子信息材料的三维动态振动模态，检测微机电器件的振动性能，为器件研发与优化提供直观数据；

精密机械领域：分析精密机械零件的振动特性，捕捉微小振动缺陷，助力提升机械部件的稳定性与使用寿命；

数据存储领域：研究HGA（磁头组件）和次级执行器的动力学特性，保障数据存储设备的运行精度与可靠性；

材料科研领域：针对微结构材料进行振动性能表征，分析材料振动响应与结构的关联，为新型材料研发提供动态性能依据。

它的核心魅力，在于“非接触、高精度、宽频带”的三重buff——不用接触样品、不破坏微结构完整性，就能以亚皮米级的超高分辨率，捕捉XYZ三向振动信号，还能将抽象的振动数据转化为清晰的曲线和直观的三维模态动图。比起传统电测方法，它解决了“不可视、精度低、无过程数据”的痛点；比起普通测振设备，它突破了“高频捕捉弱、横向分辨率低”的局限，堪称微结构振动研究的“火眼金睛”。

工作原理

MSA-100-3D显微式激光测振仪的工作原理，说起来并不复杂，有点像给微结构拍“动态3D写真”：

• 激光发射与聚焦：仪器发射激光，通过自动聚焦功能将光斑（小于4μm）精准聚焦到样品测量点，适配微结构的精细测量需求；
• 振动信号捕捉：激光照射到振动的样品表面后会发生多普勒频移，仪器通过探测频移信号，精准感知振动速度与幅值，同时同步捕捉XYZ三个方向的振动分量；
• 数据处理与成像：内置软件对三向振动信号进行实时分析，不仅能输出振动幅值等量化数据，还能通过扫描测量（软件控制XY横向平台移动样品）完成整个表面的振动分析，最终生成三维模态动图；
• 宽频适配：凭借25MHz的大带宽，可精准捕捉从低频到高频的振动信号，不会遗漏关键动态特性。
  
  

简单说，它就像一位“精细的振动侦探”，通过“激光探针”取证，再用“智能算法”还原微结构的振动真相。更厉害的是，它的振幅分辨率达亚皮米级、速度分辨率低至0.005μm/s，这也是它能超越传统测振设备的关键所在。

样品要求

MSA-100-3D显微式激光测振仪虽强，但也需要样品“配合”才能发挥最佳效果，几个关键要求很简单：

样品类型与尺寸：适用于微结构类样品（如MEMS器件、压电片、精密零件等），无严格尺寸限制，但激光光斑小于4μm，更适配微小区域的测量；

表面状态要求：样品表面需能反射激光（若表面反光性差，可轻微处理增强反光），确保仪器能精准捕捉多普勒频移信号；

测试距离适配：仪器最大测试距离可达38mm，样品放置需在有效测试范围内，避免距离过远影响信号强度。

总结升华

从微小的MEMS器件到精密的机械零件，从科研实验室的材料表征到工业领域的性能检测，MSA-100-3D显微式激光测振仪用“非接触、高精度、宽频带”的核心能力，打破了微结构振动测量的诸多僵局。

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